Thư viện huyện Tuy Phước
Hồ sơ Bạn đọc Tra cứu Bản tin Thư mục Tài trợ Chủ đề
OpenURL
Thông tin tài liệu:
Đào Khắc An. Công nghệ Micrô và Nanô điện tử : =Micro & Nanoelectronics technology / Đào Khắc An .- Giáo dục Việt Nam , 2009
Hiện trong OPAC: yes
Thông tin số bản tài liệu:
Barcode/Số ĐKCB Chi tiết Tình trạng Status Dt Due Back
VV.000221 Sẵn sàng 2018-01-30 15:11:05
VV.000222 Sẵn sàng 2018-01-30 15:11:14

Xem chi tiết thông tin tài liệu:
Chủ đề có kiểm soátSubject added entry--topical term- : Điện tử
Chủ đề có kiểm soátSubject added entry--topical term- : Nanô điện tử
Chủ đề có kiểm soátSubject added entry--topical term- : Giáo trình
Chủ đề có kiểm soátSubject added entry--topical term- : Điện tử học
Bắt đầu bằng số 978604x...Chỉ số ISBN- : 8934980982204
Giá cả, điều kiện cung cấpChỉ số ISBN- : 170.000đ
Mã ngôn ngữLanguage code- : vie
Ký hiệu phân loạiPhân loại DDC- : 621.381
Ký hiệu xếp giáPhân loại DDC- : A127ĐK
Title proper/short titleVarying form of title- : Micro & Nanoelectronics technology
Nơi xuất bảnĐịa chỉ xuất bản- : Hà Nội
Nhà xuất bảnĐịa chỉ xuất bản- : Giáo dục Việt Nam
Năm xuất bảnĐịa chỉ xuất bản- : 2009
TrangMô tả vật lý- : 767 tr.
Các đặc điểm vật lý khácMô tả vật lý- : Hình ảnh
KhổMô tả vật lý- : 24 cm.
Tổng quát/tóm tắt nội dungSummary, etc.- : Khái quát những vấn đề chung liên quan đến lĩnh vực micrô và nanô điện tử; Công nghệ nanô điện tử trên Si - Các công đoạn thiết kế, chế tạo mặt nạ và chế tạo vật liệu bán dẫn khối; Công nghệ lớp mặt nạ và một số công nghệ chế tạo màng mỏng kích thướt micrô và nanô điện tử; Công nghệ xử lý hóa và ăn mòn trong micrô và nanô điện tử...