Xem chi tiết thông tin tài liệu:
|
Chủ đề có kiểm soátSubject added entry--topical term- :
|
Điện tử |
Chủ đề có kiểm soátSubject added entry--topical term- :
|
Nanô điện tử |
Chủ đề có kiểm soátSubject added entry--topical term- :
|
Giáo trình |
Chủ đề có kiểm soátSubject added entry--topical term- :
|
Điện tử học |
Bắt đầu bằng số 978604x...Chỉ số ISBN- :
|
8934980982204 |
Giá cả, điều kiện cung cấpChỉ số ISBN- :
|
170.000đ |
Mã ngôn ngữLanguage code- :
|
vie |
Ký hiệu phân loạiPhân loại DDC- :
|
621.381 |
Ký hiệu xếp giáPhân loại DDC- :
|
A127ĐK |
Title proper/short titleVarying form of title- :
|
Micro & Nanoelectronics technology |
Nơi xuất bảnĐịa chỉ xuất bản- :
|
Hà Nội |
Nhà xuất bảnĐịa chỉ xuất bản- :
|
Giáo dục Việt Nam |
Năm xuất bảnĐịa chỉ xuất bản- :
|
2009 |
TrangMô tả vật lý- :
|
767 tr. |
Các đặc điểm vật lý khácMô tả vật lý- :
|
Hình ảnh |
KhổMô tả vật lý- :
|
24 cm. |
Tổng quát/tóm tắt nội dungSummary, etc.- :
|
Khái quát những vấn đề chung liên quan đến lĩnh vực micrô và nanô điện tử; Công nghệ nanô điện tử trên Si - Các công đoạn thiết kế, chế tạo mặt nạ và chế tạo vật liệu bán dẫn khối; Công nghệ lớp mặt nạ và một số công nghệ chế tạo màng mỏng kích thướt micrô và nanô điện tử; Công nghệ xử lý hóa và ăn mòn trong micrô và nanô điện tử... |