1.
ĐÀO KHẮC AN Công nghệ Micrô và Nanô điện tử
=Micro & Nanoelectronics technology
/ Đào Khắc An
.- Hà Nội : Giáo dục Việt Nam , 2009
.- 767 tr. : Hình ảnh ; 24 cm.
Tóm tắt: Khái quát những vấn đề chung liên quan đến lĩnh vực micrô và nanô điện tử; Công nghệ nanô điện tử trên Si - Các công đoạn thiết kế, chế tạo mặt nạ và chế tạo vật liệu bán dẫn khối; Công nghệ lớp mặt nạ và một số công nghệ chế tạo màng mỏng kích thướt micrô và nanô điện tử; Công nghệ xử lý hóa và ăn mòn trong micrô và nanô điện tử... ISBN: 8934980982204 / 170.000đ
1. Điện tử. 2. Nanô điện tử. 3. Giáo trình. 4. Điện tử học.
621.381 A127ĐK 2009
|
ĐKCB:
VV.000221
(Sẵn sàng)
|
ĐKCB:
VV.000222
(Sẵn sàng)
|
| |